仪器型号：Helios G4 CX
资产编号：--
生产厂家：Thermo Scientific
联系人：胡凡 齐翠
联系电话：025-86869335
联系邮箱：cryo-em@njmu.edu.cn
放置地点：江宁校区 学海楼B001
购置日期：--
Thermo Scientific Helios G4 CX是一款第四代高端聚焦离子束-电子束双束扫描电镜（FIB-SEM），核心功能涵盖微纳尺度成像、精准加工与样品制备，可实现二次电子/背散射电子高分辨成像、EDS元素分析，能定点制备高分辨率S/TEM及原子探针断层扫描（APT）样品，还支持纳米结构刻蚀与沉积，适配材料科学、半导体、生物学等多领域研究需求。
1.电子束加速电压：200V-30kV可调；
2.Ga离子束加速电压：0.5-30kV；
3.束流0.1pA-60nA；
4.分辨率：15kV下二次电子分辨率达0.6-0.8nm，1kV下为1.2nm；
5.放大倍率18×-800,000×。
适用于半导体失效分析、先进材料表征、工业质检及生命科学领域，可实现高分辨成像、FIB 精准加工、TEM 制样与三维结构重构的多功能双束电镜系统。
样品需干燥无挥发、无磁无腐蚀、表面清洁牢固固定。
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