仪器型号:Tektronix 4200A-SCS
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联系人:周昆
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放置地点:天元楼224
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使用 4200A-SCS参数分析仪(参数测试仪)加快各类材料、半导体器件和先进工艺的开发,完成制程控制、可靠性分析和故障分析
1.测试功能: 支持同步1-V、C-V及超高速脉冲1-V特性测试,适用于半导体器件、晶体管、传感器及材料电学性能分析;
2.源测量单元: SMU模块支持±210V/100mA或±210V/1A输出,具备四象限源测量能力;
3.电流测量分辨率: 标准电流测量分辨率可达100fA,配置前置放大器后可达10aA;
4.C-V测试范围: 支持多频电容-电压测试,频率范围可覆盖1kHz-10 MHz,内置直流偏压可达±30 V;
5.脉冲I-V性能: 脉冲测试最高支持±40 V、±800mA,采样率可达200 MS/s,时间分辨率可达5 ns.
暂无内容
送样前应确保样品表面清洁干燥、电极或引脚完整且接触良好,并提前提供器件结构、测试端口、偏压范围及最大耐受电压/电流等信息;测试过程中需注意静电防护、屏蔽接地,避免样品受潮、漏电或外界干扰影响测试结果。