一、仪器简介
双束扫描电镜Helios G4 CX是Thermo Scientific公司推出的第四代高端聚焦离子束-电子束双束扫描电镜系统（FIB-SEM），是冷冻电镜中心微纳尺度成像与精密加工的核心设备。该设备集成高分辨场发射扫描电镜与聚焦离子束于一体，可实现二次电子/背散射电子高分辨成像、EDS元素分析，并能定点制备高分辨率S/TEM及原子探针断层扫描（APT）样品，还支持纳米结构刻蚀与沉积。
仪器安放于冷冻电镜中心核心实验区，配备完善的环境控制与减振系统。设备已纳入中心开放共享管理体系，由专业技术人员负责运维，面向校内外用户开放预约使用。
二、功能特色
1. 高分辨成像能力：电子束分辨率达0.6-0.8nm（15kV下二次电子），满足微纳尺度高分辨成像需求。
2. 精准离子束加工：Ga离子束加速电压0.5-30kV可调，束流范围0.1pA-60nA，支持从微米到纳米尺度的精准切割与加工。
3. 多元化分析功能：集成EDS元素分析系统，可实现样品微区成分的定性与半定量分析。
4. 宽幅放大倍数：放大倍数覆盖18×-800,000×，从宏观定位到纳米级精细观察均可实现。
三、主要技术参数
参数项目 | 技术指标 |
电子束加速电压 | 200V-30kV 可调 |
电子束分辨率（15kV） | 0.6-0.8 nm（二次电子） |
电子束分辨率（1kV） | 1.2 nm |
Ga离子束加速电压 | 0.5-30kV |
Ga离子束束流范围 | 0.1pA-60nA |
放大倍率范围 | 18× - 800,000× |
四、主要应用方向
1. 材料科学领域：半导体失效分析、先进材料表征、工业质检；高分辨S/TEM样品定点制备；原子探针断层扫描样品加工。
2. 生命科学领域：常温生物样品的FIB加工与三维重构。
3. 纳米加工：纳米结构刻蚀与沉积，支持微纳器件研发。
4. 多学科交叉研究：兼具高分辨成像、精准加工与元素分析能力，适配材料科学、半导体、生物学等多领域研究需求。
五、预约与联系方式
该仪器面向校内外用户开放共享，实行预约使用制度。用户可通过冷冻电镜中心官方预约系统提交使用申请，经技术团队审核后安排机时。具体收费标准及预约流程欢迎来电咨询。
联系人：胡凡、齐翠
联系电话：025-86869335
联系邮箱：cryo-em@njmu.edu.cn
存放地址：江宁校区 学海楼B001
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